La bomba criogénica, según la introducción anterior a las bombas de vacío, es una bomba que genera vacío mediante la unión de gases en la bomba de vacío.
Su principio de funcionamiento es el siguiente:
Generalmente, la criobomba estará conectada a una cámara cerrada y esperamos que la cámara pueda alcanzar un estado de vacío. Cuando las moléculas de gas dentro de la cámara entran en contacto con la superficie de baja temperatura dentro de la criobomba, cuando la temperatura de la superficie de baja temperatura es lo suficientemente baja como para ser inferior a la temperatura de presión de vapor saturado del gas, el gas se condensará en la superficie. y la cámara. Se reduce el número de moléculas de gas en el gas y se obtiene un vacío.
Específicamente, la mayoría de los gases se condensarán cuando la temperatura sea inferior a 20 K; mientras que algunos gases no se pueden condensar ni siquiera a 20 K, por lo que se utiliza otro método: adsorción, como H2, gas helio, generalmente carbón activado. Se utiliza como adsorbente. Por lo tanto, una gran cantidad de carbón activado se adherirá a la parte posterior de la torre de enfriamiento de la bomba criogénica, que se utiliza para este propósito.
Entonces, ¿qué hace que la temperatura dentro del cuerpo de la bomba sea lo suficientemente baja? Depende del compresor. En cuanto al compresor, ¿cómo funciona? ¿Trabajar? Hablemos de ello la próxima vez que tengamos la oportunidad.
El diagrama de estructura de hardware de la criopump es el siguiente
Los nombres y usos de cada estructura son los siguientes
a) 1 5 7 = primero. -matriz fría de nivel, que garantiza que la temperatura esté entre 45 y 100 k. El deflector, en términos sencillos, es un deflector, que es una persiana de una sola capa con una inclinación de 45 grados. Su función principal es garantizar que el gas bombeado. se bombea suavemente y también puede evitar que el calor dentro de la cámara se difunda hacia la bomba de frío
b) 2 4 6 = matriz de frío secundaria, asegurando que la temperatura sea de 10-20 k; >
Además de la baja temperatura, también es necesario garantizar que la temperatura pueda ser constante en un cierto valor específico. Hay calefacción, por lo que hay calentadores dentro del conjunto de frío del primer nivel y del conjunto de frío del segundo nivel. .
Las marcas de bombas reales incluyen CTI y ULVAC.
Muestra principalmente la placa de enfriamiento y el carbón activado por adsorbente en su interior, de la siguiente manera,