La relación entre resistencia laminar y resistividad

Relación: Resistencia laminar Rs=ρ/w (donde ρ es la resistividad del material de capa delgada, w es el espesor del material de capa delgada).

Nota:

1-La resistividad del material de capa delgada debe ser uniforme. Si la muestra es una capa de difusión, esta relación no se cumple.

2-Si el método de sonda lineal de cuatro puntos es; utilizado para analizar la muestra, debe estar dentro de w. Cuando /s sea inferior a 0,6 (donde s es el espacio entre sondas), utilice esta relación.

s reserved