Metiltriclorosilano (metiltriclorosilano; metil silicocloroformo, abreviado como MTS) El metiltriclorosilano también se conoce como metilsilicona; la fórmula molecular del triclorometilsilano es CH3Cl3Si; la apariencia del metiltriclorosilano es similar a la de un líquido incoloro con un sabor picante; olor y se deshace fácilmente.