La definición de talleres limpios Clase 100.000, Clase 10.000 y Clase 100:
Según los estándares promulgados por el gobierno federal de EE. UU., las salas limpias se pueden dividir en seis niveles. Son nivel 1, nivel 10, nivel 100, nivel 1000, nivel 10000 y nivel 100000. Si el nivel de la sala limpia se describe únicamente por el número de partículas de polvo, se puede suponer que el tamaño de las partículas de polvo es 0,5um
Por ejemplo, el número máximo de partículas de polvo en una sala limpia Clase 1, Clase 10 y Clase 100 es menor o igual a 1, 10 y 100 partículas respectivamente. Si el tamaño no es de 0,5 amperios, el nivel de la sala limpia debe estar dentro de los límites expresados como una serie de tamaños de partículas de polvo específicos.
Por ejemplo: el nivel 10 está en 0,2 um, el nivel 1 está en 0,12 um. La sala limpia requerida para la fabricación de circuitos integrados debe tener un nivel de limpieza superior a la Clase 1000.
Para mantener la limpieza de la sala limpia, existen ciertas normas de vestimenta para el personal que entra y sale de la sala limpia; el personal de nivel 10000 y nivel 100000 debe usar batas y zapatos libres de polvo. sombreros y máscaras; nivel 1000 (inclusive)) o superior, debe usar un mono limpio especial, zapatos libres de polvo para cubrir todo el cuerpo y usar guantes y una máscara.
Parámetros de purificación de talleres limpios de 100.000 niveles, 10.000 niveles y 100 niveles:
Número de cambios de aire: 100.000 niveles ≥ 15 veces; 10.000 niveles ≥ 20 veces; 30 veces; 100≥500 veces. Diferencia de presión: taller principal a la habitación adyacente ≥5Pa
Velocidad promedio del viento: 0,3-0,5 m/s para el nivel 10 y la temperatura del nivel 100 en invierno>16 ℃; verano<26℃; fluctúa ±2℃.
La temperatura es del 45-65%; la humedad en el taller de polvo GMP es de aproximadamente el 50%; la humedad en el taller de electrónica es ligeramente mayor para evitar la generación de electricidad estática.
Ruido ≤65 dB (A); la cantidad de suplemento de aire fresco es del 10% al 30% del volumen total de suministro de aire 300LX.
Estándares de nivel de purificación para talleres limpios Clase 100.000, Clase 10.000 y Clase 100: