Debido a las fluctuaciones de energía, siempre hay algunos átomos cuya energía es lo suficientemente grande como para superar las limitaciones de los átomos circundantes y pueden migrar a otros lugares. De esta manera, aparecerán nodos, llamados vacantes, en el original. posición de equilibrio. Las vacantes son un tipo de defecto del punto cristalino y su concentración de equilibrio térmico obedece a la distribución de Boltzmann, y la concentración aumenta a medida que aumenta la temperatura.
En los cristales, los átomos vibran alrededor de la posición de equilibrio de la rejilla. La vibración de un átomo está estrechamente relacionada con la vibración de los átomos circundantes. Esto hace que la energía de la vibración atómica obedezca la distribución de probabilidad de Maxwell-Boltzmann y presente un fenómeno de fluctuación. Cuando la energía de un determinado átomo alcanza un cierto nivel, puede desviarse de la posición de equilibrio normal y formar una vacante en el punto original de la red.