3. A los dos grupos de personas que trabajan en MEMS en la Universidad de Tsinghua les está yendo muy bien. Tsinghua Micro-Institute y Southeast University son las dos primeras empresas de MEMS en China, por lo que tienen una base relativamente sólida. Pero Tsinghua tiene buenas instalaciones de hardware y puede producir mejores cosas. Como "Micrófono" se publicó en JMEMS. Hasta donde yo sé, este es el único artículo publicado en JMEMS en China continental. Parece que el principal objetivo de Tsinghua es la integración de sistemas y ha invertido más energía. Aunque el Instituto Tsinghua no tiene una línea de proceso MEMS dedicada, la línea de proceso IC del Instituto Tsinghua es la envidia de las universidades extranjeras. Por lo tanto, Tsinghua Micro tiene una base sólida, buen equipo, talentos suficientes y un futuro brillante. En cuanto al Departamento de Instrumentos de Precisión de la Universidad de Tsinghua, la microbomba fabricada por el profesor Zhou también es muy potente y se publicó en la conferencia MEMS. Además, el Departamento de Instrumentos de Precisión también es muy bueno realizando pruebas. También pertenece a un muy buen nivel.
Por cierto, el profesor Gao Yu de la Universidad de Tsinghua también es muy bueno, algo que no se mencionó en este artículo. Una vez mi tutor nos llevó a visitar al profesor Gao. El profesor Gao es una persona muy humilde y mis revisores de artículos incluyen al profesor Gao.
4. El Instituto de Microsistemas de Shanghai, al igual que la Universidad de Pekín, es un advenedizo en MEMS, especialmente con las piernas gruesas del Sr. Jiang. Recientemente ha hecho viento y lluvia en China, lo cual es muy envidiable. En la actualidad, el instituto se está desarrollando rápidamente en MEMS y también tiene ciertas capacidades de procesamiento y buenas pruebas. En el futuro, puede convertirse en el número uno en MEMS en China. Debido a que tiene dinero, puede permitirse el lujo de equipos y, junto con la base de fabricación de circuitos integrados del Instituto Metalúrgico y los talentos suficientes, calculo que será muy bueno en el futuro.
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