Recomiende una buena escuela en microelectrónica y MEMS.

En la actualidad, la mejor tecnología MEMS nacional es la Universidad de Pekín, especialmente la tecnología de grabado de ranura profunda que Zhang Dacheng tiene un conocimiento profundo de ella, que es de clase mundial. Pero otros son simplemente promedio. Varias armas mágicas de la Universidad de Pekín: máquina de grabado de ranura profunda, máquina de fotolitografía de doble cara y un juego de llaves y equipo. En la actualidad, se han desarrollado en China dos procesos populares de silicio a granel y un proceso de silicio de superficie de polisilicio de una sola capa. Sin embargo, la Universidad de Pekín empezó a utilizar MEMS relativamente tarde. Sólo empezó a hacerlo en 1997. Por lo tanto, la base todavía es relativamente débil y no existe una base profunda. En la actualidad, la Universidad de Pekín también ha trabajado mucho en MEMS CAD, principalmente las tareas del proyecto 973. Pero su principal ventaja radica en la tecnología de procesamiento.

3. A los dos grupos de personas que trabajan en MEMS en la Universidad de Tsinghua les está yendo muy bien. Tsinghua Micro-Institute y Southeast University son las dos primeras empresas de MEMS en China, por lo que tienen una base relativamente sólida. Pero Tsinghua tiene buenas instalaciones de hardware y puede producir mejores cosas. Como "Micrófono" se publicó en JMEMS. Hasta donde yo sé, este es el único artículo publicado en JMEMS en China continental. Parece que el principal objetivo de Tsinghua es la integración de sistemas y ha invertido más energía. Aunque el Instituto Tsinghua no tiene una línea de proceso MEMS dedicada, la línea de proceso IC del Instituto Tsinghua es la envidia de las universidades extranjeras. Por lo tanto, Tsinghua Micro tiene una base sólida, buen equipo, talentos suficientes y un futuro brillante. En cuanto al Departamento de Instrumentos de Precisión de la Universidad de Tsinghua, la microbomba fabricada por el profesor Zhou también es muy potente y se publicó en la conferencia MEMS. Además, el Departamento de Instrumentos de Precisión también es muy bueno realizando pruebas. También pertenece a un muy buen nivel.

Por cierto, el profesor Gao Yu de la Universidad de Tsinghua también es muy bueno, algo que no se mencionó en este artículo. Una vez mi tutor nos llevó a visitar al profesor Gao. El profesor Gao es una persona muy humilde y mis revisores de artículos incluyen al profesor Gao.

4. El Instituto de Microsistemas de Shanghai, al igual que la Universidad de Pekín, es un advenedizo en MEMS, especialmente con las piernas gruesas del Sr. Jiang. Recientemente ha hecho viento y lluvia en China, lo cual es muy envidiable. En la actualidad, el instituto se está desarrollando rápidamente en MEMS y también tiene ciertas capacidades de procesamiento y buenas pruebas. En el futuro, puede convertirse en el número uno en MEMS en China. Debido a que tiene dinero, puede permitirse el lujo de equipos y, junto con la base de fabricación de circuitos integrados del Instituto Metalúrgico y los talentos suficientes, calculo que será muy bueno en el futuro.

Extraído de: /html/200901/1142861

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