Los defectos son los siguientes:
1. Abolladuras o rayones en la superficie: durante el proceso CMP, aparecerán abolladuras o rayones en la superficie, y estos defectos afectarán la planitud del tantalato de litio. cristal y rendimiento óptico.
2. Grietas en el cristal: durante el proceso CMP, un funcionamiento inadecuado o una tensión desigual provocarán grietas en el cristal de tantalato de litio.