Cuando la viga en voladizo está sujeta a una aceleración externa, la distribución de carga en el capacitor cambiará, lo que resultará en cambios en la carga en el capacitor, lo que resultará en una diferencia de voltaje. Esta diferencia de voltaje es proporcional a la aceleración externa, por lo que la aceleración externa se puede calcular midiendo esta diferencia de voltaje.
La ventaja de los sensores de aceleración MEMS capacitivos es que tienen un bajo costo de fabricación y pueden ajustar la sensibilidad del sensor cambiando el tamaño de la capacitancia. La desventaja es que la precisión es baja y se ve fácilmente afectada por la temperatura.