Las primeras sondas de electrones no podían obtener imágenes. El microscopio óptico está integrado en el cilindro de la lente óptica electrónica y se observa la morfología del tejido a través del microscopio óptico. Luego se ajustan las bobinas de desviación para colocar el haz de electrones sobre el área de interés y se determina cualitativa y cuantitativamente la composición química del área utilizando un espectrómetro de rayos X. Las sondas electrónicas se utilizan principalmente para el estudio de materiales metálicos y minerales, y desempeñan un papel clave en el desarrollo y mejora de la metalografía y la petrografía.
En el caso de materiales metálicos, el análisis microscópico de la rotura por fractura se observa con mayor frecuencia. Antes de que el microscopio electrónico de barrido pudiera asumir esta importante tarea, era mucho tiempo y trabajo utilizar un microscopio electrónico de transmisión para copiar la morfología de la fractura (compuesto de película C) y observarla utilizando el método de transmisión de barrido.
Se ha desarrollado vigorosamente la microscopía electrónica de barrido (SEM), que puede observar directamente la morfología de la fractura. Con la mejora de los detectores de electrones secundarios y la perfección de la teoría de imágenes, la resolución del SEM ha mejorado sustancialmente y el SEM ha entrado en la etapa de desarrollo comercial. La morfología microscópica de las fracturas rugosas de materiales metálicos es básicamente clara bajo un microscopio electrónico de barrido. No es necesario utilizar un microscopio electrónico de transmisión. El microscopio electrónico de barrido puede observar el área macroscópica visible a simple vista a nivel de micras. con una gran profundidad de campo, lo que mejora enormemente las condiciones de investigación.
Con el avance de la tecnología de microscopio electrónico de barrido, la sonda electrónica se ha mejorado e integrado con la tecnología de microscopio electrónico de barrido y la tecnología de espectroscopía de rayos X, que se pueden utilizar para mostrar áreas de interés mucho más allá del rango visible. de microscopios ópticos. Microimagen y análisis precisos de composición química.
En los primeros días de la comercialización, la resolución de los microscopios electrónicos de barrido todavía estaba lejos de la resolución teórica, por lo que la comercialización de los microscopios electrónicos de barrido se desarrolló muy rápidamente. Los mejores microscopios electrónicos de barrido hasta ahora están básicamente cerca de ella. La teoría actual del diseño universal. Dado que la tarea de la sonda electrónica es analizar la microzona de rayos X, la resolución espacial de la zona de acción de los rayos X se sitúa teóricamente en el rango de una a varias micras, lo que tiene poco que ver con la resolución de la sonda electrónica. sistema óptico. Por tanto, la tecnología de sondas electrónicas no persigue una alta resolución. En la actualidad, la resolución de las sondas electrónicas de filamento de tungsteno se mantiene básicamente en el nivel de resolución de los microscopios electrónicos de barrido de la década de 1970, lo cual es suficiente.
La aplicación de materiales semiconductores en la tecnología de detección de rayos X ha llevado a la invención y a la aplicación rápida y generalizada de los espectrómetros de rayos X. El espectrómetro de rayos X puede analizar simultáneamente los rayos X característicos de todos los elementos que ingresan a la oblea de silicio de la sonda y realizar una ampliación espectral al mismo tiempo, mientras que WDS tarda mucho en buscar y ampliar el espectro uno por uno, y puede llevar varias horas para caracterizar un elemento en la etapa inicial. EDS puede caracterizar perfectamente todos los elementos en solo unos minutos. Por lo tanto, EDS se utiliza ampliamente en SEM para observación de alta resolución e investigación cualitativa y semicuantitativa sobre microquímica, y desempeña un papel importante en el análisis de fracturas de materiales metálicos. Al mismo tiempo, EDS también está configurado en la sonda electrónica, que se utiliza principalmente para la caracterización química en lugar de la caracterización de búsqueda larga de WDS. WDS utiliza directamente los resultados de EDS para análisis cuantitativos, lo que mejora enormemente la velocidad de análisis de las sondas electrónicas.
Además, el análisis cuantitativo WDS mediante sondas electrónicas utiliza muestras estándar. Sin embargo, EDS realiza principalmente análisis de muestras no estándar.
-Lo anterior puede ser demasiado detallado, ¡espero que sea útil!