Las máquinas de litografía de máscaras utilizan una tecnología de impresión fotográfica similar para imprimir patrones finos en la máscara sobre obleas de silicio mediante exposición.
Los principales indicadores de rendimiento de la máquina de litografía incluyen: rango de tamaño de sustrato admitido, resolución, precisión de alineación, método de exposición, longitud de onda de la fuente de luz, uniformidad de la intensidad de la luz, eficiencia de producción, etc.
2018 165438 El 29 de octubre, el importante proyecto nacional de desarrollo de equipos de investigación científica "Desarrollo de equipos de litografía de superresolución" pasó la inspección de aceptación. Esta máquina de litografía fue desarrollada por el Instituto de Tecnología Optoelectrónica de la Academia de Ciencias de China, con una resolución de litografía de 22 nm. Combinado con la tecnología de doble exposición, también se podrá utilizar para fabricar chips de nivel de 10 nm en el futuro.
¿Cuál es el principio de la máquina de fotolitografía?
Es similar a las fotos reveladas, pero no igual.
Revelar fotografías significa revelar las fotografías que deben revelarse a partir del negativo en papel fotográfico, o ampliar la imagen original del negativo en papel fotográfico.
La máquina de fotolitografía encoge el negativo grande, es decir, el diagrama del circuito integrado se reduce a papel fotográfico de oblea.
Esto es exactamente lo contrario de los resultados de revelar e imprimir con la ampliadora.
¿Por qué el umbral para las máquinas que en principio no son difíciles es tan alto? La dificultad radica en su precisión. El llamado cambio cuantitativo ha producido un cambio cualitativo.
Si dibujamos un esquema de circuito en papel tamaño A4, no es nada difícil, y mucha gente puede hacerlo.
Este tema va un poco lejos, y luego vuelve al alineador de mascarillas.
Es relativamente fácil dibujar en papel de tamaño A4. Pero dibujar un circuito en un sello es mucho más complicado. Imaginemos que es más difícil dibujar un circuito sobre un grano de arroz o sobre un grano de arena.
No sólo eso, si quisieras poner este trozo de arena en un auto de carreras en movimiento, permitiéndote alcanzar a otros autos de carreras en movimiento, sería casi imposible dibujar un diagrama de circuito en el arena del parabrisas de.
Aunque todos tienen un nombre, dibujar esquemas de circuitos, la dificultad varía según el entorno, el medio y el tamaño.
Así que las máquinas de fotolitografía también se dividen en gama baja y alta. Los que están por debajo de los 10 nm son máquinas de litografía de alta gama.
El grosor del bolígrafo difiere de la cantidad de contenido representado en el dibujo. Cuanto más fina sea la punta, más contenido se podrá extraer, mayor será la dificultad y mayor será la gama alta. Asimismo, está el tamaño de la arena. Cuanto más pequeña sea la arena y más fina la punta del bolígrafo, más contenido podrás dibujar y mayor será la dificultad.
En la actualidad, la tecnología más avanzada de máquinas de litografía es la de 5 nanómetros. 5 nanómetros tienen aproximadamente 50 átomos de ancho.
El tamaño real de un átomo es entre 5.000 y 2.000 veces mayor que el de las ondas de luz amarilla. Bajo esta extrema precisión, muchos detalles que podrían haber sido ignorados se han convertido en obstáculos y dificultades.
Por ejemplo, si eres extremadamente sensible a las vibraciones al correr, como al cerrar la puerta, esto puede ser catastrófico. Por tanto, debe estar equipado con un sistema de absorción de impactos extremadamente preciso.
Los amigos a los que les gusta la fotografía saben que en el proceso de fotografía un parámetro muy importante es la exposición. También existen problemas de exposición al revelar fotografías. La cantidad y duración de la exposición afectarán el efecto de la imagen.
Fuente de luz, se utiliza para pintar. Debe tener frecuencia estable, energía uniforme y alto grado de paralelismo. Cualquier exposición inexacta afectará seriamente la calidad de la imagen.
Por lo tanto, la precisión del control en movimiento debe ser de nanómetros. Si hay una ligera desviación, se producirán errores de imagen.
Los alineadores de mascarillas son más complejos de lo que pensamos. Se puede decir que las máquinas de litografía son casi el equipo mecánico más sofisticado de la historia de la humanidad.
Algunas personas dicen que la producción de chips depende del gasto de dinero. Definitivamente se necesita dinero, pero también están las cuestiones medioambientales y los factores mencionados anteriormente.
La ciencia nunca puede ser falsa.