Los objetivos en la pulverización catódica con magnetrón se dividen en objetivos de aleaciones metálicas y objetivos cerámicos. Los objetivos de aleaciones metálicas se componen principalmente de metales puros o aleaciones intermetálicas, mientras que los objetivos cerámicos se componen principalmente de compuestos inorgánicos no metálicos como óxidos, nitruros y boruros metálicos. Aunque los objetivos de óxido metálico contienen componentes metálicos, la razón por la que se les llama objetivos cerámicos se debe a su estructura y propiedades.
La cerámica es un material inorgánico no metálico que suele tener las siguientes características:
1. Alto punto de fusión y alta dureza: En comparación con los materiales metálicos, los materiales cerámicos suelen tener un punto de fusión más alto. Punto y dureza.
2. Buena resistencia al desgaste y a la oxidación: Debido a su alta dureza y propiedades químicas estables, los materiales cerámicos suelen tener buena resistencia al desgaste y a la oxidación.
3. Baja conductividad térmica y baja conductividad eléctrica: En comparación con los materiales metálicos, los materiales cerámicos suelen tener una menor conductividad térmica y eléctrica, mostrando propiedades aislantes o semiconductoras.
Objetivos de óxidos metálicos, como ITO (óxido de estaño-indio), AZO (óxido de circonio-aluminio), ZnO, etc., aunque contienen elementos metálicos, son similares en estructura y propiedades a los materiales cerámicos. Mucho más cerca. Por ejemplo, tienen altos puntos de fusión, propiedades químicas estables, baja conductividad térmica y baja conductividad eléctrica. Por lo tanto, llamar al objetivo de óxido metálico un objetivo cerámico puede reflejar mejor su estructura y propiedades, de modo que se pueda seleccionar el material objetivo apropiado durante el proceso de pulverización catódica.