1. El tratamiento térmico al vacío no puede lograr oxidación, descarburación ni calentamiento de carburación.
2. Tiene las funciones de desengrasar y desgasificar, consiguiendo así una superficie brillante y purificante.
3. Después del tratamiento térmico al vacío, las piezas tienen una pequeña distorsión y alta calidad.
4. Básicamente sin contaminación.
4. El horno de calentamiento al vacío puede funcionar a temperaturas más altas.
5. Ciertos tratamientos térmicos químicos, como la cementación, la nitruración, el cromado, la boro y la infiltración de múltiples elementos, son más rápidos, ahorran tiempo y son más eficientes.