En 1993, la Universidad de Tsinghua propuso la idea de establecer el Parque Científico y Tecnológico de Tsinghua, que fue confirmada y aprobada por el Ministerio de Educación y la Municipalidad de Beijing.
En 1994, se estableció el Centro de Desarrollo del Parque Científico y Tecnológico de Tsinghua y se inauguró oficialmente la construcción del parque científico y tecnológico.
En 1998 se construyó una superficie inicial de 120.000 metros cuadrados y el parque empezó a tomar forma.
En 1999, se incluyó en el plan general del Parque Científico y Tecnológico de Zhongguancun y se centró en el apoyo al desarrollo.
En el año 2000 se inició la construcción del parque principal de 570.000 metros cuadrados y 200 empresas se instalaron en el parque.
En 2001, fue reconocido como uno de los primeros parques universitarios nacionales de ciencia y tecnología por el Ministerio de Ciencia y Tecnología y el Ministerio de Educación.
En 2002, se estableció el Parque Empresarial de Estudiantes Extranjeros de Tsinghua.
En 2003, el Parque Científico y Tecnológico de Tsinghua fue reconocido por el Ministerio de Ciencia y Tecnología y el Ministerio de Educación como el único parque científico y tecnológico universitario nacional de nivel A en China. El Parque Científico y Tecnológico de Tsinghua se convirtió en el primer miembro de la Asociación Internacional de Parques Científicos y Tecnológicos (IASP).
El Parque Empresarial Tsinghua fue nombrado "Centro Nacional de Servicios Empresariales Excelentes". Se estableció oficialmente el Centro de Servicios del Parque Científico y Tecnológico de Tsinghua, lo que marca un progreso gradual en el sistema de soporte de servicios del Parque Científico y Tecnológico de Tsinghua.
En 2004, Tsinghua Science and Technology Park Construction Co., Ltd. pasó a llamarse Teach Holdings Co., Ltd. y se estableció la Plataforma de Prueba Pública del Parque Científico y Tecnológico de Tsinghua.
En 2005, se completó y puso en funcionamiento el edificio de ciencia y tecnología de 18.000 metros cuadrados, un edificio emblemático en el parque principal, y se construyó y puso en funcionamiento la plataforma de servicios para empresas de alta tecnología en el distrito de Haidian. Se mejoró aún más el sistema de servicios de innovación.
En 2006, se lanzó oficialmente el "Plan Diamante", que se centra en cultivar empresas de alta tecnología de rápido crecimiento.
En 2007, 15 empresas de tecnología innovadora fueron preseleccionadas para el proyecto del diamante, y la tasa de ocupación del parque principal superó el 95%.
En 2008, el Parque Científico y Tecnológico de Tsinghua lanzó oficialmente el nuevo logotipo TusPark y anunció una actualización estratégica integral. Como uno de los primeros socios del Zhongguancun Venture Capital Guidance Fund, inició el establecimiento del Tus-China Overseas Venture Capital Fund.
En 2008, el Parque Científico y Tecnológico de Tsinghua lanzó oficialmente el nuevo logotipo TusPark y anunció una actualización estratégica integral. Como uno de los primeros socios del Zhongguancun Venture Capital Guidance Fund, inició el establecimiento del Tus-China Overseas Venture Capital Fund. En el Parque Científico y Tecnológico de Tsinghua se celebraron la sucursal de Asia y el Pacífico de la Asociación Internacional de Parques Científicos y Tecnológicos y la reunión anual de la Asociación de Parques Científicos y Tecnológicos de Asia. El primer Foro de Innovación TusPark se celebró en el Parque Científico y Tecnológico de Tsinghua.