Recopilación completa de datos detallados sobre la resistencia de las láminas

Cuando la longitud es L, el ancho es W y la altura es D (es decir, espesor de la película), L = L, S = W * D, entonces R=ρ*l/(w*d)=(ρ/ d)* (l/p). Sea l=w, R=(ρ/d), donde ρ es la resistividad del material.

Introducción básica Nombre chino: definición de resistencia cuadrada: resistencia cuadrada R=ρ/d definición de resistencia: R=ρ*L/S definición: cuando la longitud es L, el ancho es W y la altura es D. Unidad: ω Definición, método de prueba, factores que afectan la precisión, problemas aplicables, definición: Cuando la longitud es L, el ancho es W y la altura es D (grosor de la película), entonces L = L. El probador de resistencia de láminas evapora el aluminio. Película, película de pintura conductora, película de lámina de cobre de placa de circuito impreso y otros materiales conductores de película delgada, la mejor manera de medir su espesor es probar la resistencia de su lámina. ¿Qué es una resistencia de lámina? La resistencia laminar, o resistencia laminar, se refiere a la resistencia de un material conductor de película delgada cuadrada de un lado al otro, como se muestra en la Figura 1, es decir, la resistencia del lado B al lado C. La resistencia laminar tiene una característica, es decir, la resistencia de un cuadrado de cualquier tamaño de un lado a La resistencia del otro lado es la misma, ya sea que la longitud del lado sea 1 mo 0,1 m, su resistencia laminar es la misma, por lo que la resistencia laminar solo está relacionada a factores como el espesor de la película conductora. Método de prueba ¿Cómo probar la resistencia del bloque? ¿Se pueden probar directamente los materiales que se muestran en la Figura 1 utilizando el ajuste de resistencia de un multímetro? No, porque la sonda del multímetro sólo puede medir la resistencia punto a punto, y esta resistencia punto a punto no significa nada. Para probar la resistencia cuadrada, primero debemos presionar una varilla de cobre redonda con una resistencia mucho menor que la película conductora en los lados A y B. La varilla de cobre redonda debe tener una gran suavidad para garantizar un buen contacto con la película conductora. De esta manera, podemos usar un multímetro para medir la resistencia entre dos tiras de cobre para medir la resistencia laminar del material de película conductor. Si la resistencia cuadrada es relativamente pequeña, por ejemplo por debajo de unos pocos ohmios, las lecturas cuando se prueban con un multímetro serán inestables e inexactas debido a la resistencia de contacto y el rendimiento del multímetro en sí. En este momento, debe utilizar un instrumento de prueba de baja resistencia de cuatro terminales dedicado, como un miliohmímetro, un microohmímetro, etc. El método de prueba es el siguiente: presione cuatro varillas de cobre redondas y lisas sobre la película conductora, como se muestra en la Figura 2. Las cuatro barras de cobre están representadas por A, B, C y D respectivamente, y están conectadas mediante cables y soldadas en el miliohmímetro. Hacemos que la distancia L entre BC sea igual al ancho W de la película conductora. En cuanto a la distancia entre AB y CD, no hay ningún requisito. Generalmente es de 10 a 20 mm. Después de conectar el miliohmímetro, la resistencia que muestra el miliohmímetro es la resistencia de la lámina del material. Las ventajas de este método de prueba son: (1) Este método puede medir la resistencia de la lámina de cientos de miliohmios, decenas de miliohmios o incluso menos (2) Debido a que es una prueba de cuatro terminales, la resistencia de contacto entre la varilla de cobre y el; Película conductora Incluso si la resistencia del cable desde la varilla de cobre al instrumento es mayor que la resistencia que se está midiendo, no afectará la precisión de la prueba. (3) Alta precisión de las pruebas. Debido a la alta precisión de instrumentos como los miliohmímetros, la precisión de la medición de la resistencia de la lámina está determinada principalmente por la precisión mecánica del ancho de la película W y la distancia L entre las varillas conductoras BC. Debido al gran tamaño, esta precisión mecánica puede ser aún mayor. En la operación real, para mejorar la precisión de la prueba y los materiales de las tiras reactivas, W y L no son necesariamente iguales. L puede ser mucho mayor que W. En este momento, la resistencia de la lámina RS = Rx * W/L, y Rx es. la lectura del miliohmímetro. Aunque este método es muy preciso, resulta problemático, especialmente cuando el material de la película conductora es grande y de forma irregular, es necesario utilizar una sonda especial de cuatro sondas para probar la resistencia cuadrada del material, como se muestra en la Figura 3. La sonda consta de cuatro cabezales de sonda y se requiere que la distancia entre los cabezales de las cuatro sondas sea igual. Las cuatro sondas están conectadas al probador de resistencia cuadrado mediante cuatro cables. Cuando se presiona la sonda contra una película de material conductor, se muestra inmediatamente la resistencia laminar del material. El principio específico es que las dos sondas en el extremo exterior generan un campo de corriente y las dos sondas en el extremo interior prueban el potencial formado por el campo de corriente en estos dos puntos de la sonda. Debido a que cuanto mayor es la resistencia laminar, mayor es el potencial, por lo que se puede medir la resistencia laminar del material. Cabe señalar que aunque ambas son pruebas de cuatro terminales, en principio son diferentes del método de medición de resistencia laminar con tiras de cobre que se muestra en la Figura 2. Porque sólo una pequeña parte de la corriente en el campo actual produce un voltaje (potencial) en el punto BC. La sensibilidad mostrada es mucho menor, con una relación de 1:4,53.

Factores que afectan la precisión Factores que afectan la precisión de la medición de la resistencia cuadrada con el método de sonda: (1) Se requiere que la distancia desde el borde de la sonda hasta el borde del material sea mucho mayor que el espaciado de la sonda, generalmente mayor que 10 veces. (2) Se requiere que el espaciado de las sondas sea igual; de lo contrario, se producirán errores de prueba proporcionales. (3) En teoría, cuanto más pequeño sea el punto de contacto entre la sonda y la película conductora, mejor. Sin embargo, en aplicaciones prácticas, debido a que el electrodo de aguja puede dañar fácilmente el material de película conductora que se va a medir, generalmente se utiliza una sonda circular. Problemas de aplicación Finalmente, hablemos de problemas de aplicación práctica. 1. Si la superficie del material de película conductora a probar no está limpia, tiene manchas de aceite o el material está expuesto al aire durante demasiado tiempo, se formará una capa de óxido, lo que afectará la estabilidad y precisión de la prueba. Es necesario prestar atención durante las pruebas. 2. Si hay aceite en la punta de la sonda, la prueba será inestable. En este momento, sólo necesita deslizar la sonda sobre un papel blanco limpio y limpiarla. 3. Si el material es una película de aluminio evaporada, etc. Además, el espesor de la evaporación es demasiado fino y la película de aluminio formada no se puede unir uniformemente en una sola pieza, sino que forma una distribución puntual. En este momento, el valor de resistencia al cuadrado aumentará considerablemente, lo cual es diferente del valor de espesor y resistencia al cuadrado calculado mediante el método de pesaje. Entonces es hora de considerar agregar un factor de corrección.