El método de evaporación por haz de electrones es un tipo de recubrimiento de evaporación al vacío que utiliza haces de electrones para calentar directamente el material de evaporación en condiciones de vacío, de modo que el material de evaporación se vaporiza y transporta al sustrato y se condensa. el sustrato para formar una película delgada. En el dispositivo de calentamiento por haz de electrones, el material calentado se coloca en un vórtice enfriado por agua, lo que puede evitar que el material de evaporación reaccione con la pared del canal y afecte la calidad de la película. Por lo tanto, el método de deposición por evaporación por haz de electrones puede preparar un alto nivel. -películas de pureza al mismo tiempo que se pueden colocar múltiples evaporadores en el dispositivo de deposición por evaporación para lograr la evaporación y deposición simultánea o separada de múltiples sustancias diferentes. Con la evaporación por haz de electrones, se puede evaporar cualquier material y diferentes materiales requieren diferentes tipos de agotamiento para lograr la tasa de evaporación deseada.