Dos columnas de fuentes de luz coherentes con la misma frecuencia, diferencia de fase constante y dirección de vibración constante pueden producir interferencias ópticas.
La diferencia entre las alturas de los picos de las franjas de interferencia en el punto A y el punto B es la diferencia de altura.
El principio de interferencia de la luz del interferómetro de luz blanca se divide en dos categorías: interferometría de cambio de fase PSI e interferometría de escaneo vertical VSI.
Interferometría de cambio de fase PSI:
PSI
La interferometría de cambio de fase utiliza una fuente de luz dentro de un rango de longitud de onda específico para confirmar la superficie objetivo, la luz reflejada y la superficie de referencia. Interferencia de luz reflejada entre la luz. La fase entre la luz reflejada de la superficie objetivo y la luz reflejada de la superficie de referencia es ?, y la altura desde la superficie de referencia es h, entonces ?=4h/λ. Con el método de medición de fase, se puede utilizar un actuador como el escáner de Atenas para mover la trayectoria óptica de la superficie de medición, calcular la diferencia de fase (?) de múltiples franjas de interferencia obtenidas al mover la trayectoria óptica a 1/4 de longitud de onda, y luego conviértalo en una altura h.
Interferometría de barrido vertical VSI:
VSI
El objetivo de la interferometría de barrido vertical se mueve a determinados intervalos para determinar el brillo de las franjas de interferencia de cada orden. Cuando la longitud del camino óptico de la superficie de medición y la longitud del camino óptico de la superficie de referencia son iguales, el brillo de la franja de interferencia alcanza su máximo. Determinando la altura del eje Z del brillo máximo de la franja de interferencia en cada punto del elemento receptor de luz CCD, se puede medir el perfil 3D, es decir, la diferencia de altura.