Según la literatura original, el nitruro de titanio es un compuesto con una fórmula molecular de TiN y un peso molecular de 61,88. También está hecho de material de color amarillo dorado. Sin embargo, cuando el espesor de la película de nitruro de titanio cambia con los cambios en las condiciones del proceso, su color también cambiará en consecuencia.
En general, cuando el espesor de la película de nitruro de titanio es de unos 200 nanómetros, el color es amarillo dorado. Pero a medida que el grosor sigue aumentando, el color se irá volviendo violeta gradualmente. Por tanto, si el color de la superficie del nitruro de titanio es violeta, es porque cambia el espesor de la película de nitruro de titanio, lo cual es un fenómeno normal.