El objetivo principal del detector de fugas es comprobar si hay fugas o fugas de aire en cada sello de una cámara de vacío.
Esta cavidad sellada se llena de helio y se utiliza un detector de fugas de espectrómetro de masas para detectar diferentes partes fuera de la cavidad. Si hay un problema con el sello, hay una fuga de helio, que es detectada por el. espectrómetro de masas.
El detector de fugas del espectrómetro de masas es un espectrómetro de masas simple que tiene bajos requisitos de resolución y rango de masa de detección, pero altos requisitos de sensibilidad.
La respuesta arriba es el principio y el proceso de análisis de un espectrómetro de masas magnético en el espectrómetro de masas.
De hecho, se pueden usar varios tipos de espectrómetros de masas como espectrómetros de masas para detección de fugas. Sin embargo, debido a consideraciones de costo y sensibilidad, los detectores de fugas de espectrometría de masas cuadrupolo se usan más comúnmente.