Se utilizaron parámetros de deposición similares para sustratos de alúmina rugosos.
Preprocesamiento para la obtención del microdispositivo final.
El sustrato de alúmina (34 mm × 34 mm) se fabrica según el tamaño especificado y se dispone de antemano.
Se obtuvo una única muestra (3 mm × 3 mm) para corte.
En la parte trasera, están equipados con Ti de 50 nm/500 nm.
Como la suma serpenteante del calentador del río Pt, pasando por el frente, pasando por el Pt con los dedos cruzados de ambas manos.
Durante la medición, los contactos leen secuencialmente los valores actuales del sensor de polarización. Después de depositar la capa sensora, el dispositivo se suelda a un conector TO-8 comercial y se coloca en una cámara de prueba adecuada. El sensor se calienta a diferentes temperaturas de funcionamiento proporcionando un cable caliente con un voltaje determinado. Realice reacciones del sensor de vapor de etanol y acetona a través de la aplicación.
Un voltaje continuo de 10v entre los electrodos del sensor, y
la corriente es detectada por el electrómetro.
Obtener la concentración de gas requerida.
Utilizar cilindros validados y diferentes controladores de flujo en bloque.
(MFC) está conectado al sistema controlador de flujo másico (mod MKS).
647B ), que permite una dilución adecuada del vapor recogido.
Aire. Durante este periodo se reparó el proceso completo de 100 sccm.