1． ¿Se puede utilizar el método de las cuatro sondas para medir la resistividad de la capa epitaxial de obleas epitaxiales n/n y obleas epitaxiales p/p?
Respuesta: El método de las cuatro sondas no se puede utilizar para medir lo mismo tipo de obleas epitaxiales.
2． ¿Se puede utilizar el método de las cuatro sondas para medir la resistividad de la capa epitaxial de la oblea epitaxial n/p?
Respuesta: El método de las cuatro sondas se puede utilizar para medir obleas epitaxiales con formas especiales.
3． ¿Por qué se requiere que la superficie de prueba sea una superficie mate cuando se mide la resistividad de una muestra de un solo cristal, pero la superficie de prueba puede ser una superficie de espejo cuando se prueba la resistencia laminar de la capa de difusión de un difusor?
Respuesta: La superficie mate garantiza mejor que la sonda metálica esté en contacto con la muestra. El contacto es bueno, por lo que al medir la resistividad de muestras monocristalinas, el plano de prueba debe ser una superficie rugosa. "...Al probar la resistencia laminar de la capa de difusión del difusor, la superficie de prueba puede ser una superficie de espejo..." De hecho, cuando la superficie de prueba del difusor también es una superficie mate, es mejor para la medición. , pero la superficie se ha pulido antes de la difusión y el espesor de la capa de difusión después de la difusión es pequeño, por lo que no es adecuado para volver a pulir o soplar con arena, por lo que solo se puede medir la superficie del espejo. Para que la medición sea más precisa, existen diferentes requisitos para la presión de la sonda y la "superficie rugosa" de la punta de la aguja...
(Como referencia)