Según el grado de vacío, se divide en alto, medio y bajo.
Según el propósito, se divide en máquina de recubrimiento al vacío, equipo de tratamiento térmico al vacío, vacío equipos de fundición, equipos de soldadura al vacío, equipos de secado al vacío, impregnación a presión al vacío, destilación al vacío, envasado al vacío, transporte al vacío, filtración al vacío, dispositivo de simulación espacial al vacío, equipos de física nuclear al vacío, etc.