Según la publicación, lo más parecido a la ingeniería física de semiconductores de memoria a escala de 10 nm es el EUV. La principal ingeniería física de semiconductores de memoria de 10 nanómetros que cambia de onda que se utiliza actualmente es la onda ArF. Aunque utiliza un modo de arriba hacia abajo, se utiliza como luz ultravioleta extrema. La única diferencia es que se dibuja un circuito más sutil. EUV se puede probar lo antes posible, pero el alto precio y la baja producción son problemas que deben resolverse. El proyecto EUV está monopolizado por ASML, una organización comercial finlandesa, y el precio de su equipo es de 654,38 billones de yuanes. Se informa que su producción también es mucho menor que la del ArF.
Espero adoptar.