El tratamiento con plasma se puede aplicar a todos los sustratos, e incluso configuraciones geométricas complejas se pueden someter a activación por plasma, limpieza por plasma y recubrimiento por plasma sin problemas. Las cargas térmicas y mecánicas durante el tratamiento con plasma son muy bajas, por lo que el plasma a baja presión también puede tratar materiales sensibles. Las aplicaciones típicas de las máquinas de grabado por plasma incluyen:
Eliminación de espuma de plasma
Decapado del fotorresistente
Tratamiento de superficies
Aplicación de análisis de fallas isotrópicas, anisotrópicas e isotrópicas Modificación de materiales
Limpieza de envases
Grabado de capa de pasivación
Grabado de poliimida
Mejora de la adherencia
Aplicaciones biomédicas
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Polimerización
Limpieza de mezcla
Limpieza previa a la adhesión