Si bien las aplicaciones de investigación, desarrollo y fabricación de la simulación litográfica descritas anteriormente brindan todos los beneficios del modelado basado en el tiempo, el costo y las capacidades, el poder subyacente de la simulación es su uso como herramienta de aprendizaje. capacidad.
Aunque las ventajas de la litografía analógica en aplicaciones de investigación, desarrollo y fabricación se han demostrado a través del tiempo, el costo y el rendimiento como se analizó anteriormente, el potencial de la simulación reside en su capacidad para servir como herramienta de aprendizaje.
La correcta aplicación del modelado permite a los usuarios aprender de forma eficiente y efectiva.
Utilizar las simulaciones correctamente puede hacer que los usuarios se sientan más cómodos.
Hay muchas razones por las que esto es cierto.
Hay varias razones que explican esto.
En primer lugar, la velocidad de la simulación y
experimentación hacen que la retroalimentación sea más oportuna.
En primer lugar, la velocidad de retroalimentación de la simulación es más oportuna que la del experimento.
Debido a que el aprendizaje es un ciclo (una idea, un experimento, una medición y luego una comparación con la idea original), una retroalimentación más rápida permite más ciclos de aprendizaje.
Debido a que el aprendizaje es un ciclo (una idea, un experimento, una medición y una comparación con el original), una retroalimentación más rápida puede ganar más ciclos de aprendizaje.
Como las simulaciones son tan económicas, hay menos limitaciones y más oportunidades para explorar ideas.
Además, el costo de la simulación es bajo, hay pocas restricciones y hay muchas oportunidades para probar.
Y, como nos muestran las aplicaciones de investigación, existen menos limitaciones físicas sobre lo que los "experimentos" pueden realizar.
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Como nos dicen los resultados de la investigación y las aplicaciones, existen menos limitaciones físicas sobre qué tipos de experimentos se pueden realizar.
Todos estos factores permiten el uso del modelado para comprender la litografía.
La aplicación de todas estas tecnologías de simulación nos aporta una mejor comprensión de la litografía.
Ya sea aprendiendo conceptos básicos o explorando matices sutiles, no se puede subestimar el valor de mejorar sus conocimientos.
Ya sea aprendiendo principios teóricos básicos o explorando los matices del material, no se puede sobreestimar el valor de mejorar su conocimiento.
En los siguientes capítulos, se explorará con más detalle la aplicación de la simulación litográfica en la fabricación.
En las siguientes secciones encontrarás más detalles importantes sobre el uso de la litografía analógica en la fabricación.
2. Aplicación de la simulación litográfica en la industria manufacturera.
2.
A. Optimización de la pila de película delgada
A. Optimización de la pila de película delgada
Por muchas razones, la optimización de la pila de película delgada es el aspecto más importante de la simulación de litografía. un entorno de fabricación. Método utilizado con frecuencia.
La litografía simulada se utiliza más comúnmente para la optimización de pilas de películas en entornos de fabricación por las siguientes razones.
En primer lugar, la pila de películas cambia con frecuencia en la planta de fabricación y, a excepción del revestimiento antirreflectante inferior (BARC) y la resistencia, la pila de películas no está controlada por litografía.
Grupo .
Primero, en una fábrica, la pila de películas cambia con frecuencia. A diferencia de los revestimientos y resistentes antirreflectantes inferiores, esta pila de películas no está controlada por fotolitografía.
Como resultado, los grupos de litografía deben responder a los cambios en estas pilas de películas delgadas ajustando el proceso de litografía.
Como resultado, el grupo de litografía debe ajustar el proceso de litografía en función de los cambios en estas pilas de películas.
Desde la perspectiva de la litografía, la propiedad más importante de la pila de películas delgadas es la reflectividad del sustrato.
Desde la perspectiva de la litografía, la parte más importante de la pila de películas delgadas es la reflectividad del sustrato fotosensible.
Desafortunadamente, no hay forma de medir la reflectividad de un sustrato cuando se recubre con resina (la reflectancia del sustrato en el aire no tiene sentido para esta aplicación).
No es deseable que no tenga sentido medir la reflectancia de un sustrato fotosensible en el aire si está recubierto con un agente anticorrosión. ) No es posible medir la reflectancia de un sustrato fotosensible.
Por lo tanto, todo trabajo de optimización de BARC requiere el uso de simulación.
Por lo tanto, todo trabajo de optimización de BARC requiere la aplicación de tecnología de simulación.
Esta simulación, a su vez, requiere mediciones precisas de los parámetros ópticos BARC (espesor, n & k).
Además, esta técnica de simulación requiere una medición precisa de los parámetros ópticos (espesor, n, & k).