B. Herramientas de desarrollo de procesos
B Herramientas de desarrollo de procesos
El modelado litográfico también ha demostrado ser una herramienta muy valiosa.
Se utiliza para desarrollar nuevos procesos o equipos de fotolitografía.
El principio de la fotolitografía ha demostrado ser una herramienta invaluable para el procesamiento y equipamiento de modelos de fotolitografía (la palabra modelado es la clave, para otras partes, el autor piensa en cómo traducirla y luego elige Una palabra mejor, usaré esto por el momento y le pondré un signo de interrogación. Si desea cambiarlo, puede cambiarlo. Si no desea cambiarlo, solo diga que el modelo es realmente bueno. ).
Algunos de los usos más comunes incluyen
Algunos de los usos más útiles incluyen
Optimización de tintes
Teñido óptimo
Carga de fotorresistente
Carga de fotorresistente (no sé cómo traducir este número, el autor puede hacerlo él mismo)
Simulación de la reflectividad del sustrato,
p>Simular (simular) la reflectividad de la capa inferior fotosensible
Aplicabilidad
Adaptabilidad
y optimización del antirreflectante superior e inferior revestimientos
,
además de optimizar los materiales de revestimiento antirreflectante superior e inferior.
Y simulación del efecto del ancho de banda sobre la amplitud de la curva de balanceo.
Y simular (simular) el ancho de banda de amplitud de la curva.
Además, se han utilizado simulaciones para ayudar a comprender el uso de resistencias gruesas en la fabricación de cabezales de película delgada.
Los modelos (?) se utilizan ampliamente en materiales fotorresistentes para el control de calidad. probar nuevas teorías (o fórmulas, no sé qué palabra usas profesionalmente)
y determinar las medidas apropiadas de las propiedades fotorresistentes para fines de control de calidad [34].
Además de medir las propiedades de materiales fotorresistentes. (La última frase se movió al frente)
Los usuarios de resistencias a menudo utilizan el modelado como ayuda para la evaluación de nuevas resistencias.
Las resistencias suelen utilizar modelos(?) como ayuda en la evaluación de nuevas resistencias.
En el lado de la herramienta de exposición,
En el lado de la herramienta de exposición,
El modelado se ha convertido en una cuestión de optimizar la apertura numérica y la coherencia parcial del paso a paso [ 35-37] e integral para comprender las desviaciones de impresión entre líneas densas y aisladas [38].
El número de modelo (?) se ha convertido en una parte indispensable para optimizar la apertura digital, el diseño de los sobretonos y comprender la densidad de las líneas de impresión.
El uso de un software de corrección óptica de proximidad requiere reglas sobre cómo realizar las correcciones.
La aplicación de un software de corrección óptica de proximidad requiere el cumplimiento de reglas de corrección. Lee inglés tú mismo.
Esto suele producirse con la ayuda de simulaciones litográficas [39].
Esta corrección suele ocurrir en simulaciones que ayudan en la litografía.
Como herramienta de desarrollo, la simulación litográfica destaca por su velocidad y rentabilidad.
Como herramienta de desarrollo, la ventaja del modo de impresión normal es su velocidad y su entrada y salida.
El desarrollo de procesos generalmente implica la realización de experimentos extensos para determinar las condiciones óptimas del proceso.
El desarrollo de procesos generalmente implica experimentación continua para determinar las condiciones de proceso más apropiadas.
Resolver posibles problemas,
Descubrir posibles problemas
Determinar la sensibilidad a las variables,
Medir la heurística de las variables.
Y escribir límites de especificación en
las entradas y salidas del proceso.
Además de escribir definiciones canónicas de las entradas y salidas del proceso
Estas actividades suelen llevar mucho tiempo y ser costosas.
Estas actividades (esos experimentos que miden esto y aquello) cuestan mucho tiempo y dinero.
El modelado proporciona una manera de acelerar el proceso al complementar los experimentos de laboratorio con experimentos de simulación.
Reducir costos.
Este modelo proporciona un complemento a los experimentos de simulación de laboratorio, que pueden acelerar los experimentos y reducir los costos de los experimentos.
Teniendo en cuenta que una sola ejecución experimental en una instalación de fabricación de obleas puede llevar de horas a días,
Imagínese que una única herramienta de sellado y unión para fines experimentales requeriría horas o incluso días.
La ventaja de velocidad de la simulación es considerable.
Es necesario considerar la ventaja de velocidad de la simulación.
Esto permite realizar más simulaciones de las que son prácticas (o incluso posibles) en una fábrica. (¿Qué es fabuloso? ¡Es vulgar aparecer aquí! Debería ser que lab no puede tener jerga con diferentes significados en el artículo, ¿verdad?)
Esto permite un mayor número de = = = simulaciones en el laboratorio permitido (es incluso posible) (lo que significa que uno es experimental y es más probable que sea práctico).