La principal aplicación actual de la película conductora transparente (TCF) es la película ITO, así como otras películas AZO. La película ITO es una película semiconductora transparente, que es la abreviatura del nombre en inglés de óxido de indio y estaño (óxido de indio y estaño). Algunos estudiosos también llaman película ITO a la serie de óxido de indio (In2O 22SnO 2). Como electrodo conductor transparente, se requiere que la película de ITO tenga buena transparencia y conductividad. Por lo tanto, la banda prohibida E g de este tipo de material es generalmente superior a 3 eV y sus componentes dopantes se desvían de la relación estequiométrica. Los métodos de preparación de películas delgadas de ITO incluyen evaporación, pulverización catódica, revestimiento de iones reactivos, deposición química de vapor, pulverización de pirólisis, etc., pero el método más utilizado es la pulverización catódica reactiva con magnetrón [1, 2]. En comparación con otras películas conductoras transparentes, las películas de ITO tienen buena estabilidad química, estabilidad térmica y buenas características de procesamiento de patrones.